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TECHNICAL ARTICLES如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?
2021-02-05 如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?振動對高級浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動隔振實(shí)現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu),其中包含...主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合:CleanBenchAktiv™實(shí)驗(yàn)臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補(bǔ)充。比氣浮性能改善高達(dá)40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz頻率內(nèi)性能提升明顯:提...Crystalaser激光器在流式細(xì)胞學(xué)中的重要角色
2021-01-14 激光器在流式細(xì)胞學(xué)中的重要角色醫(yī)學(xué)中所說的流式細(xì)胞學(xué)(FlowCytometry,FCM)是對被熒光色素染色的單細(xì)胞或微粒,在激光照射高速流動狀態(tài)下,對其進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地定性或定量檢測的一種現(xiàn)代細(xì)胞分析和分選技術(shù)。其中流式細(xì)胞儀是集光學(xué)、流體力學(xué)、電子學(xué)、機(jī)械制造及自動化、抗體和熒光標(biāo)記技術(shù)、計算機(jī)與軟件工程等多種技術(shù)為一體的高通量、多參數(shù)分析與分選儀器。同傳統(tǒng)的熒光顯微鏡相比,流式細(xì)胞儀具有速度快、精度高、準(zhǔn)確性好等特點(diǎn)。流式細(xì)胞學(xué)在醫(yī)學(xué)臨床方面的主要應(yīng)用:(1)腫瘤學(xué)中的...Vescent D2-125激光伺服器在生物領(lǐng)域的應(yīng)用典型案例
2021-01-08 VescentD2-125激光伺服器在生物領(lǐng)域的應(yīng)用典型案例科羅拉多州立大學(xué)(ColoradoStateUniversity,CSU),DavidWinters博士借助VescentD2-125激光伺服器在單像素成像的生物領(lǐng)域獲得了很大的進(jìn)展。針對單像素成像的生物領(lǐng)域,DavidWinters博士討論了新的單像素成像方法(SPIFI方法),其根本原理是通過基于激光計量和頻率的合成理念,測量小位移的中心頻率的光脈沖,類似脈沖受激拉曼散射,使得脈沖在探測瞬態(tài)光學(xué)磁化率時獲得位移。...公司郵箱: panyue@sourcescn.com
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